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みなさまへ
(公財)九州先端科学技術研究所(九州先端研ISIT)でございます。
本日は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所 九州センターより、
『ミニマルファブ体験講座』−リソグラフィー装置を用いて−開講のご案内です。
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『ミニマルファブ体験講座』（随時募集）
−リソグラフィー装置を用いて− のご案内
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ミニマルファブとは、半導体デバイスを直径1/2インチ
（12.5 mm）のウェハに一品作りするための装置群であり、
オリジナルのIoTデバイス等の開発・試作にも有用な設備です。
中でも「リソグラフィー」はIoTデバイス作製の要素技術とも
いえる基本プロセスです。
産総研九州センターでは、デバイスの開発・試作に関心の
ある企業の皆様や、これを支援する各県公設試等の皆様に、
ミニマルファブの構想および概要を理解していただくととも
に、ミニマルファブを用いた「リソグラフィー」を実習する
ことでミニマルファブの操作の基本を習得していただくこと
を目的に、『ミニマルファブ体験講座』を開講しています。
【会 場】 産総研九州センター
（〒841-0052 佐賀県鳥栖市宿町807-1）
【日 時】 随時受付
申し込みの際に受講希望日を明記して下さい。
【参加費】 無料
【所要時間】約6時間程度
※ご希望に沿って対応します。
受講カリキュラム（例）をご覧ください。
【受講対象】
・ミニマルファブやリソグラフィに興味のある企業技術者
・上記企業を支援する各県公設試の研究者等
（リソグラフィの原理を理解していることが望ましい）
【申込方法】
1.会社名・所属機関、2.部署・役職、3.ご氏名、4.受講希望日を明記の上、
ミニマルファブ体験講座担当（mini3dic-ml@aist.go.jp）
までお申し込みください。
【受講カリキュラム（例）】
10:50 開講式・オリエンテーション
開講挨拶 産総研九州センター 所長 平井 寿敏
11:00 [講義] ミニマルファブの概要
講師：井上 道弘 氏、猿渡 新水 氏
12:00 休憩
13:00 [実習]ミニマルファブを用いたリソグラフィ試作
※受講者は名刺を使用した実習を行います
17:00 閉講式
◆ミニマルファブ体験講座チラシはこちらをご覧ください。
http://www.aist.go.jp/Portals/0/kyushu/images/event/minimaru/H30minimaru.jpg
◆ミニマルファブに関する疑問など、お気軽にお問い合わせください。
【問合せ先】
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
九州センター産学官連携推進室内
ミニマルファブ体験講座担当 太田・岩永
mini3dic-ml@aist.go.jp
tel 0942-81-3640もしくは0942-81-4097
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